Gas Analyzer

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微量ガス分析計SERVOPRO Chroma [Servomex社]

  1. 空気分離装置、超高純度ガス精製プラント、半導体ガスプラント、特殊ガスプラント等における高純度ガス中の不純物測定
  2. プラズマエミッション検出と水素炎イオン化検出

製品概要

プラズマエミッション検出とは

プラズマエミッション検出とはの図

  1. 強い高周波によりセル内に電磁場を生じさせます。
  2. そこにサンプルガスが流れるとプラズマが発生し、放射スペクトル (エレクトロルミネッセンス）が出現します。
  3. このスペクトルが光学フィルターを通過する際に波長が選択され、測定対象ガスのスペクトルのみ選択して透過されます。
  4. フォト検出器にて測定対象ガスのスペクトルを検知し、出力信号に変換して定量化します。
SERVOPRO Chroma 検出能力

SERVOPRO Chroma (K4000)検出能力の図

モデル

SERVOPRO Chroma
SERVOPRO Chroma
  • 微量ガス分析計（ガスクロマトグラフィ）
  • 測定方式：プラズマエミッション検出
  • 検収下限：1ppb（アプリケーションによる）
  • 再現性：±1~5%FSD（アプリケーションによる）

Gas Purifier (PureGas)
Gas Purifier (PureGas)

ガス精製器

  • 高純度キャリアガスやゼロガスを精製
  • ライフタイム指示とメンテナンス予知診断機能付き
  • 二段階精製によりH2不純物を除去
  • Ar、He、Ne、Kr、Xe中のH2O、O2、CO、CO2、N2、THC、H2、CH4を除去
  • 不純物レベル＜10ppb

特徴

  • ppb/ppmレベルの微量ガス測定
  • 外部ソフトウェアを必要としない独立システム
  • PlasmaHCによりFIDを用いずに全炭化水素を測定
  • ArgonSepによりO2スクラバーを使用せずにArを分離
  • Ethernetによるリモートコントロール

用途

  • 空気分離装置
  • アルゴン精製プラント
  • ローリー充填ステーション
  • 水素精製プラント
  • 半導体ガス供給プラント
  • 特殊ガス供給プラント
  • ヘリウム精製プラント

メーカー紹介

  • Servomex社
  • Servomex社
  • 70年間以上も及び培われたガス分析技術で定評のあるイノベーターのServomex社は磁気式センサー技術における創始者で、世界のリーダーであり、ジルコニア、吸光光度、厚膜、プラズマ技術の開発においても特別な定評を頂いています。その結果、ポータブル型ガス分析計から複雑なプロセス解析まで及ぶ信頼性の高い製品ラインナップを通じ、高性能、費用対効果に優れたガス分析を実現しています。 Servomex社は英国にテクニカルセンターを持つ国際的な企業で、全世界のビジネスセンターを通じ、優れた顧客サービスと完全な販売網やサービスサポートをご提供することを心がけています。グローバルな専門技術をローカルサポートの融合により、Servomex社はお客様が製品品質を向上させ、プラントやプロセスの安全性を維持し、法的な必要条件を満たすことを確保する製品とサービスの完全なパッケージをお届けします。
  • https://www.servomex.com/
  • Servomex社

お問い合わせ先

  • 第1営業本部
    TEL:03-3588-6456

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