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微量酸素分析計Delta F [Servomex社]

  1. Delta F社は、微量・超微量酸素測定、微量水分測定で40年以上の実績を有しており、同社が独自に開発した電気化学式酸素センサーは非消耗タイプで、長期間安定して使用できます。
    2010年に、世界的な酸素分析計メーカーであるイギリスServomex社のグループの一員となりました。

製品概要

微量酸素センサー

DF Sensor
微量酸素センサーの図2
微量酸素センサーの図3

バックグランドガス

標準センサー:N2, H2, CO, フレオン, 炭化水素等の不活性・パッシブガス

モデル

SERVOPRO MonoExact DF150E
MonoExactDF150E

<SERVOPRO MonoExact DF150E>

  • 測定レンジ:
    0-100ppm
    0-1,000ppm
    0-10,000ppm
  • 精度:
    FS0.05%
    または指示値の±5%の大きい方
  • 応答時間:
    30秒以下(90%応答)

SERVOPRO MonoExact DF310E
- ppbレベルまで測 定可能 AquaXact1688 露点計搭載可能
MonoExactDF310E

<SERVOPRO MonoExact DF310E>

  • 測定レンジ:
    電気化学式
    0-100ppm (高精度)
    0-100ppm
    0-1,000ppm
    0-10,000ppm
    磁気ダンベル式
    0-25%
  • 精度:
    電気化学式
    標準精度 FS0.05%または指示値の ±3%の大きい方
    高精度 ±10ppbまたは指示値±3% の大きい方
    磁気ダンベル式
    ±0.1%
  • 応答時間:
    電気化学式
    30秒以下(90%応答)
    磁気ダンベル式
    10秒(90%応答)

図:マルチセンサー構成

SERVOPRO DF550e NanoTrace
- 超微量 最小検知レベル75 ppt
SERVOPRO DF550e NanoTrace

<SERVOPRO DF550e NanoTrace>

  • 測定レンジ:0 - 20 ppm
  • 精度:±3%(読み値)または0.5 ppbの大きい方
  • 最小検知レベル: 200 ppt
  • 感 度:100 ppt
  • 分解能:100 ppt
  • 応答時間:15秒以下(90%応答)

<DF 560E NanoTrace II>

  • 測定レンジ:0 - 20 ppm
  • 精度:±3%(読み値)または0.1 ppbの大きい方
  • 最小検知レベル: 75 ppt
  • 感 度:50 ppt
  • 分解能:10 ppt
  • 応答時間:15秒以下(90%応答)

特徴

  • 微量酸素センサー
    εセンサーは、Delta F社が独自開発した電気化学式酸素センサーです。
  • 非消耗型で、電解液の減少が最小
  • スパンキャリブレーションは年1回でOK
  • 5年間保証(センサー)

  • CO2, H2S, NOxといった酸性ガス等に対応可能

用途

  • 高純度ガス充填設備
  • 空気分離プラント
  • 特殊ガスプラント
  • エチレン、EOプラント
  • 半導体向けUHPガス
  • ポリオレフィンプラント
  • 熱処理炉
  • グローブボックス

メーカー紹介

  • Servomex社
  • Servomex社
  • 1952年に設立されてからServomex 社は70年以上に渡り、ガス分析の分野においてイノベーターとして認められてきました。磁気式酸素センサーの創始者としてだけではなく、現在ではジルコニア、厚膜式センサー、光学分光、レーザー、プラズマのガス分析技術においても高性能、低コストな製品の開発を実現しております。イギリスに拠点を置き、アメリカ、ヨーロッパ、アフリカ、インド、中国、オセアニアの現地法人と 80社を超える販売代理店が世界の各地でセールス及びサービスのサポートをします。
  • https://www.servomex.com/
  • Servomex社

お問い合わせ先

  • 第1営業本部
    TEL:03-3588-6456

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